高傾斜3軸試料ホルダーを用いたSi単結晶中の転位の3D観察

Translated title of the contribution: 3D Observation of Dislocations in Si Single Crystal using a High-angle Triple-axis (HATA) Specimen Holder

波多 聰, 宮崎 裕也, 田中 將己, 東田 賢二

Research output: Contribution to journalReview article

Original languageJapanese
Pages (from-to)785
Journalまてりあ : 日本金属学会会報
Volume46
Issue number12
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Publication statusPublished - Dec 1 2007

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高傾斜3軸試料ホルダーを用いたSi単結晶中の転位の3D観察. / 波多聰; 宮崎裕也; 田中將己; 東田賢二.

In: まてりあ : 日本金属学会会報, Vol. 46, No. 12, 01.12.2007, p. 785.

Research output: Contribution to journalReview article

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TY - JOUR

T1 - 高傾斜3軸試料ホルダーを用いたSi単結晶中の転位の3D観察

AU - 波多, 聰

AU - 宮崎, 裕也

AU - 田中, 將己

AU - 東田, 賢二

PY - 2007/12/1

Y1 - 2007/12/1

U2 - 10.2320/materia.46.785

DO - 10.2320/materia.46.785

M3 - 評論記事

VL - 46

SP - 785

JO - まてりあ : 日本金属学会会報

JF - まてりあ : 日本金属学会会報

SN - 1340-2625

IS - 12

ER -