MEMSプロセスを用いた低損失インピーダンス整合回路の開発

Translated title of the contribution: Development of a Low Loss Impedance Matching Network Using MEMS Process

山下 勇輝, 兼本 大輔, ラメシュ ポカレル, 金谷 晴一, 吉田 啓二

Research output: Contribution to journalArticle

Abstract

近年,無線通信端末の多機能化に伴い低消費電力化が進んでいる.通常,CMOSプロセスを用いた低雑音増幅器(LNA)の入出力部には外部回路との整合用にスパイラルインダクタが装荷されている.しかし,スパイラルインダクタはQ値が低く損失が大きいため,LNAの高利得化や低雑音化を阻む原因の一つとなっている.本研究ではMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)プロセスを用いて,伝送線路とインバータ回路からなるフィルタ一体型インピーダンス整合回路を設計した.これによりCMOSプロセスに比べて低損失なインピーダンス整合回路を実現したので報告する.
Translated title of the contributionDevelopment of a Low Loss Impedance Matching Network Using MEMS Process
Original languageUndefined/Unknown
Pages (from-to)221-221
Number of pages1
Journal電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
Volume2011
Issue number0
DOIs
Publication statusPublished - 2011

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