OS1215 応力集中部を有する微小多結晶Si構造体における寸法効果(ナノ・マイクロからの視点からの変形と破壊の力学(2),オーガナイズドセッション)

Translated title of the contribution: OS1215 Size effect of micro polycrystalline silicon structure with stress concentration

濱田 繁, 中浦 寛之

Research output: Contribution to journalArticle

Abstract

微小多結晶Siに対して,強度試験及び表面粗さ測定による寸法効果を含む応力集中部の破壊強度評価法を提案する.単結晶Siウェーハ上に形成した微小片持ち梁に微小硬さ試験機で荷重を与え,曲げ試験によって強度を測定した.また,AFMによる表面粗さ測定の結果をもとに,表面粗さによる応力集中を求めることによって,高応力が作用する部位の面積で定義される有効面積を求めた.計測して求めた応力集中係数をもとに極値統計を用いて試料表面における最大の応力集中係数を推定し,破壊強度を評価した.
Translated title of the contributionOS1215 Size effect of micro polycrystalline silicon structure with stress concentration
Original languageJapanese
Pages (from-to)_OS1215-1_-_OS1215-2_
JournalM&M材料力学カンファレンス
Volume2008
Issue number0
DOIs
Publication statusPublished - 2008

Cite this