情報エレクトロニクス部門

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研究成果 1978 2020

1 引用 (Scopus)

Direct bonding of LiNbO3 and SiC wafers at room temperature

Takigawa, R. & Utsumi, J., 1 1 2020, : : Scripta Materialia. 174, p. 58-61 4 p.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

wafers
bombardment
room temperature
Acoustic surface wave filters
surface acoustic wave devices
Silicon
Plasma enhanced chemical vapor deposition
silicon films
Amorphous silicon
Dilution

600 GHz wideband planar array antenna on a chip

Kanaya, H., Tsugami, K., Zhou, Y. & Kato, K., 1 1 2019, Terahertz, RF, Millimeter, and Submillimeter-Wave Technology and Applications XII. Sadwick, L. P. & Yang, T. (版). SPIE, 109171P. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; 巻数 10917).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

Antenna Arrays
antenna arrays
Antenna arrays
Antenna
Chip

報奨