ギガフォトンNext GLP共同研究部門

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Laser beam effects Engineering & Materials Science
Excimer lasers Engineering & Materials Science
Annealing Engineering & Materials Science
Lasers Engineering & Materials Science
Doping (additives) Engineering & Materials Science
excimer lasers Physics & Astronomy
laser annealing Physics & Astronomy
irradiation Physics & Astronomy

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研究成果 2009 2019

Formation of low resistance contacts to p-type 4H-SiC using al-film source laser doping

Okamoto, K., Kikuchi, T., Ikeda, A., Ikenoue, H. & Asano, T., 1 1 2019, PHOTOPTICS 2019 - Proceedings of the 7th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology. Ribeiro, P., Raposo, M. & Andrews, D. (版). SciTePress, p. 294-298 5 p. (PHOTOPTICS 2019 - Proceedings of the 7th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

low resistance
lasers
electric contacts
contact resistance
excimer lasers

Formation of low resistance contacts to p-type 4H-SiC using laser doping with an Al thin-film dopant source

Okamoto, K., Kikuchi, T., Ikeda, A., Ikenoue, H. & Asano, T., 1 1 2019, : : Japanese Journal of Applied Physics. 58, SD, SDDF13.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

公開
low resistance
Contact resistance
Light sources
contact resistance
Doping (additives)
1 引用 (Scopus)

Formation of low resistivity layers on singlecrystalline diamond by excimer laser irradiation

Abubakr, E., Zkria, A., Katamune, Y., Ohmagari, S., Imokawa, K., Ikenoue, H. & Yoshitake, T., 5 1 2019, : : Diamond and Related Materials. 95, p. 166-173 8 p.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

Diamond
Excimer lasers
Laser beam effects
excimer lasers
Diamonds