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研究成果

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論文
2003

Anomalous leakage current in silicon oxynitride thin films grown by microwave excited nitrogen plasma nitridation

Perera, R., Ikeda, A., Hattori, R. & Kuroki, Y., 10 20 2003, p. 1084-1087. 4 p.

研究成果: 会議への寄与タイプ論文

2 引用 (Scopus)