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研究成果 1999 2019

Breath Holding

Formation of nanoporous SiO2 films with super-low dielectric constant by F2 laser deposition

Miyano, R., Kikuchi, T., Imokawa, K., Nakamura, D. & Ikenoue, H., 1 1 2019, Synthesis and Photonics of Nanoscale Materials XVI. Geohegan, D. B., Dubowski, J. J. & Kabashin, A. V. (版). SPIE, 109070S. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; 巻数 10907).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

laser deposition
Dielectric Constant
Partial pressure
1 引用 (Scopus)

Influence of Ni, Ti and NiTi alloy nanoparticles on hydrothermally grown ZnO nanowires for photoluminescence enhancement

Patra, N., Karuturi, S. K., Vasa, N. J., Nakamura, D., Higashihata, M., Singh, V. & Palani, I. A., 1 5 2019, : : Journal of Alloys and Compounds. 770, p. 1119-1129 11 p.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

Metal nanoparticles

Laser Assisted Doping of Silicon Carbide Thin Films Grown by Pulsed Laser Deposition

Paneerselvam, E., Lakshmi Narayanan, V. K., Vasa, N. J., Higashihata, M., Nakamura, D., Ikenoue, H. & Ramachandra Rao, M. S., 6 15 2019, : : Journal of Electronic Materials. 48, 6, p. 3468-3478 11 p.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

Pulsed laser deposition
Silicon carbide
silicon carbides
pulsed laser deposition
Doping (additives)

Lowerature and low-cost excimer laser doping for poly-Si thin-film transistor fabrication

Imokawa, K., Tanaka, N., Suwa, A., Nakamura, D., Sadoh, T., Goto, T. & Ikenoue, H., 1 1 2019, Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XIII. Klotzbach, U., Watanabe, A. & Kling, R. (版). SPIE, 109060J. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; 巻数 10906).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

Thin-film Transistor
Excimer Laser
Excimer lasers
Thin film transistors