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19952020

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研究成果

  • 506 引用
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  • 1 Paper

Combining multi-step imprinting with the in-plane compression method

Miyata, T., Tokumaru, K. & Tsumori, F., 6 1 2020, : : Japanese Journal of Applied Physics. 59, SIIJ07.

研究成果: Contribution to journalArticle

  • 1 引用 (Scopus)

    Development of Micro Pump Using Magnetic Artificial Cilia with Metachronal Wave

    Shinoda, H. & Tsumori, F., 1 2020, 33rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., p. 497-500 4 p. 9056137. (Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); 巻数 2020-January).

    研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

  • Dimension change during multi-step imprint process and in-plain compression

    Miyata, T., Tokumaru, K. & Tsumori, F., 2020, : : Journal of Photopolymer Science and Technology. 33, 2, p. 199-204 6 p.

    研究成果: Contribution to journalArticle

    公開
  • Dimension Change during Multi-step Imprint Process and In-plain Compression

    Miyata, T., Tokumaru, K. & Tsumori, F., 2020, : : Journal of Photopolymer Science and Technology. 33, 2, p. 199-204 6 p.

    研究成果: Contribution to journalArticle

  • Magnetic actuator using double network gel

    Shigetomi, S., Takahashi, H. & Tsumori, F., 2020, : : Journal of Photopolymer Science and Technology. 33, 2, p. 193-197 5 p.

    研究成果: Contribution to journalArticle

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