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研究成果

Fabrication of CMOS Invertors in Si Thin-Film-Transistors by Laser Doping Using a Chemical Solution Coating

Imokawa, K., Kurashige, T., Suwa, A., Nakamura, D., Sadoh, T., Goto, T. & Ikenoue, H., 1 1 2020, : : IEEE Journal of the Electron Devices Society. 8, p. 27-32 6 p., 8918252.

研究成果: Contribution to journalArticle

公開
  • Rapid photo-assisted activation and enhancement of solution-processed InZnO thin-film transistors

    Bermundo, J. P. S., Kulchaisit, C., Ishikawa, Y., Fujii, M. N., Ikenoue, H. & Uraoka, Y., 1 1 2020, : : Journal of Physics D: Applied Physics. 53, 4, 045102.

    研究成果: Contribution to journalArticle

  • Surface flattening of poly-Si thin films by laser annealing and electrical properties of LTPS-TFTs

    Hamano, F., Mizutani, A., Imokawa, K., Nakamura, D., Goto, T. & Ikenoue, H., 1 1 2020, Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XIV. Klotzbach, U., Watanabe, A. & Kling, R. (版). SPIE, 1126810. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; 巻数 11268).

    研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

  • Formation of low resistance contacts to p-type 4H-SiC using al-film source laser doping

    Okamoto, K., Kikuchi, T., Ikeda, A., Ikenoue, H. & Asano, T., 2019, PHOTOPTICS 2019 - Proceedings of the 7th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology. Raposo, M., Ribeiro, P. & Andrews, D. (版). SciTePress, p. 294-298 5 p. (PHOTOPTICS 2019 - Proceedings of the 7th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology).

    研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

    公開
  • Formation of low resistance contacts to p-type 4H-SiC using laser doping with an Al thin-film dopant source

    Okamoto, K., Kikuchi, T., Ikeda, A., Ikenoue, H. & Asano, T., 2019, : : Japanese journal of applied physics. 58, SD, SDDF13.

    研究成果: Contribution to journalArticle

    公開