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研究成果 1999 2019

Local supply of reactive oxygen species into a tissue model by atmospheric-pressure plasma-jet exposure

Kawasaki, T., Mitsugi, F., Koga, K. & Shiratani, M., 6 7 2019, : : Journal of Applied Physics. 125, 21, 213303.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

公開
plasma jets
atmospheric pressure
oxygen
starches
reagents

Progress and perspectives in dry processes for emerging multidisciplinary applications: How can we improve our use of dry processes?

Iwase, T., Kamaji, Y., Kang, S. Y., Koga, K., Kuboi, N., Nakamura, M., Negishi, N., Nozaki, T., Nunomura, S., Ogawa, D., Omura, M., Shimizu, T., Shinoda, K., Sonoda, Y., Suzuki, H., Takahashi, K., Tsutsumi, T., Yoshikawa, K., Ishijima, T. & Ishikawa, K., 1 1 2019, : : Japanese Journal of Applied Physics. 58, SE, SE0803.

研究成果: ジャーナルへの寄稿評論記事

emerging
Plasmas
Atmospheric pressure
atmospheric pressure
multidisciplinary research

Progress and perspectives in dry processes for leading-edge manufacturing of devices: Toward intelligent processes and virtual product development

Iwase, T., Kamaji, Y., Kang, S. Y., Koga, K., Kuboi, N., Nakamura, M., Negishi, N., Nozaki, T., Nunomura, S., Ogawa, D., Omura, M., Shimizu, T., Shinoda, K., Sonoda, Y., Suzuki, H., Takahashi, K., Tsutsumi, T., Yoshikawa, K., Ishijima, T. & Ishikawa, K., 1 1 2019, : : Japanese Journal of Applied Physics. 58, SE, SE0804.

研究成果: ジャーナルへの寄稿評論記事

product development
leading edges
Product development
manufacturing
Plasmas

Progress and perspectives in dry processes for nanoscale feature fabrication: Fine pattern transfer and high-aspect-ratio feature formation

Iwase, T., Kamaji, Y., Kang, S. Y., Koga, K., Kuboi, N., Nakamura, M., Negishi, N., Nozaki, T., Nunomura, S., Ogawa, D., Omura, M., Shimizu, T., Shinoda, K., Sonoda, Y., Suzuki, H., Takahashi, K., Tsutsumi, T., Yoshikawa, K., Ishijima, T. & Ishikawa, K., 1 1 2019, : : Japanese Journal of Applied Physics. 58, SE, SE0802.

研究成果: ジャーナルへの寄稿評論記事

high aspect ratio
Aspect ratio
Fabrication
fabrication
semiconductor devices

Cross-correlation analysis of fluctuations of interactions between nanoparticles and low pressure reactive plasmas

Zhou, R., Mori, K., Ohtomo, H., Yamashita, D., Seo, H., Itagaki, N., Koga, K. & Shiratan, M., 1 1 2018, THERMEC 2018. Chandra, T., Ionescu, M., Shabadi, R., Richard, C. & Jeandin, M. (版). Trans Tech Publications Ltd, p. 2104-2108 5 p. (Materials Science Forum; 巻数 941 MSF).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

Beam plasma interactions
cross correlation
low pressure
Nanoparticles
Plasmas