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研究成果 1999 2019

フィルター
評論記事
2010
55 引用 (Scopus)

Review of pulmonary toxicity of indium compounds to animals and humans

Tanaka, A., Hirata, M., Kiyohara, Y., Nakano, M., Omae, K., Shiratani, M. & Koga, K., 3 31 2010, : : Thin Solid Films. 518, 11, p. 2934-2936 3 p.

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Indium compounds
indium compounds
toxicity
Toxicity
animals
2005
17 引用 (Scopus)

Cluster-eliminating filter for depositing cluster-free a-Si:H films by plasma chemical vapor deposition

Koga, K., Kaguchi, N., Bando, K., Shiratani, M. & Watanabe, Y., 12 12 2005, : : Review of Scientific Instruments. 76, 11, p. 1-4 4 p., 113501.

研究成果: ジャーナルへの寄稿評論記事

Chemical vapor deposition
vapor deposition
Plasmas
filters
Hydrogen