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研究成果 1998 2019

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Effect of low-energy ion impact on the structure of hexagonal boron nitride films studied in surface-wave plasma

Torigoe, M., Kamimura, Y., Tsutsui, K. & Matsumoto, S., 1 1 2019, : : Surface and Interface Analysis. 51, 1, p. 126-130 5 p.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

ion impact
Boron nitride
boron nitrides
Surface waves
surface waves
Reactive ion etching
Field emission
Cones
field emission
Nanostructures

Guest Editorial Introduction to the Special Issue on the 10 th Asia-Pacific Symposium on Plasma Technology (APSPT 2017)

Hsu, C. C., Wei, T. C., Liao, Y. H., Tanaka, Y. & Tsutsui, K., 2 1 2019, : : IEEE Transactions on Plasma Science. 47, 2, p. 1034-1035 2 p., 8635419.

研究成果: ジャーナルへの寄稿編集

Lowering of the Substrate Bias Voltage for Deposition of Cubic Boron Nitride in Microwave Plasma

Nakakuma, T., Tsutsui, K. & Matsumoto, S., 2 1 2019, : : IEEE Transactions on Plasma Science. 47, 2, p. 1205-1209 5 p., 8497032.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

boron nitrides
microwaves
electric potential
boron fluorides
ion impact
2 引用 (Scopus)

Electrical transport and capacitance characteristics of metal-insulator-metal structures using hexagonal and cubic boron nitride films as dielectrics

Tsutsui, K., Kawamoto, S., Fukui, S. & Matsumoto, S., 4 14 2018, : : Journal of Applied Physics. 123, 14, 145701.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

boron nitrides
capacitance
insulators
metals
thermionic emission