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  • 2 同様のプロファイル
Silicon Engineering & Materials Science
lithium niobates Physics & Astronomy
Waveguides Engineering & Materials Science
Lithium Engineering & Materials Science
Temperature Engineering & Materials Science
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研究成果 2005 2020

  • 231 引用
  • 9 h指数
  • 24 記事
  • 14 会議での発言
  • 1 Conference article
1 引用 (Scopus)

Direct bonding of LiNbO3 and SiC wafers at room temperature

Takigawa, R. & Utsumi, J., 1 1 2020, : : Scripta Materialia. 174, p. 58-61 4 p.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

wafers
bombardment
room temperature
Acoustic surface wave filters
surface acoustic wave devices

Lithium niobate-on-insulator waveguide on Si substrate fabricated by room temperature bonding

Takigawa, R., Kamimura, K., Nakamoto, K. & Asano, T., 5 1 2019, Proceedings of 2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2019. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 1 p. 8735194. (Proceedings of 2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2019).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

Waveguides
Lithium
Surface micromachining
Ridge waveguides
Substrates

Residual stress in lithium niobate film layer of LNOI/Si hybridwafer fabricated using low-temperature bonding method

Takigawa, R., Tomimatsu, T., Higurashi, E. & Asano, T., 2 18 2019, : : Micromachines. 10, 2, 136.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

公開
Residual stresses
Lithium
Temperature
Photonic devices
Polishing

Ultrathin adhesive layer between LiNbO3 and SiO2 for bonded LNOI waveguide applications

Takigawa, R., Higurashi, E. & Asano, T., 1 1 2019, : : Japanese Journal of Applied Physics. 58, SJ, SJJE06.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

公開
adhesives
Adhesives
Waveguides
insulators
waveguides

Asymmetric line shape of near-field luminescence spectrum induced by stress in Al2O3

Tomimatsu, T. & Takigawa, R., 1 1 2018, : : Sensors and Materials. 30, 12, p. 2881-2888 8 p.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

公開
line shape
Luminescence
near fields
luminescence
asymmetry