年単位の研究成果
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- 2 同様のプロファイル
Silicon
Engineering & Materials Science
lithium niobates
Physics & Astronomy
Waveguides
Engineering & Materials Science
Lithium
Engineering & Materials Science
Temperature
Engineering & Materials Science
Substrates
Engineering & Materials Science
waveguides
Physics & Astronomy
room temperature
Physics & Astronomy
ネットワーク
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研究成果 2005 2020
1
引用
(Scopus)
Direct bonding of LiNbO3 and SiC wafers at room temperature
Takigawa, R. & Utsumi, J., 1 1 2020, ： : Scripta Materialia. 174, p. 58-61 4 p.研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 記事
wafers
bombardment
room temperature
Acoustic surface wave filters
surface acoustic wave devices
Lithium niobate-on-insulator waveguide on Si substrate fabricated by room temperature bonding
Takigawa, R., Kamimura, K., Nakamoto, K. & Asano, T., 5 1 2019, Proceedings of 2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2019. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 1 p. 8735194. (Proceedings of 2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2019).研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献 › 会議での発言
Waveguides
Lithium
Surface micromachining
Ridge waveguides
Substrates
Residual stress in lithium niobate film layer of LNOI/Si hybridwafer fabricated using low-temperature bonding method
Takigawa, R., Tomimatsu, T., Higurashi, E. & Asano, T., 2 18 2019, ： : Micromachines. 10, 2, 136.研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 記事
公開
Residual stresses
Lithium
Temperature
Photonic devices
Polishing
Ultrathin adhesive layer between LiNbO3 and SiO2 for bonded LNOI waveguide applications
Takigawa, R., Higurashi, E. & Asano, T., 1 1 2019, ： : Japanese Journal of Applied Physics. 58, SJ, SJJE06.研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 記事
公開
adhesives
Adhesives
Waveguides
insulators
waveguides
Asymmetric line shape of near-field luminescence spectrum induced by stress in Al2O3
Tomimatsu, T. & Takigawa, R., 1 1 2018, ： : Sensors and Materials. 30, 12, p. 2881-2888 8 p.研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 記事
公開
line shape
Luminescence
near fields
luminescence
asymmetry