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Crystallization Engineering & Materials Science
crystallization Physics & Astronomy
insulators Physics & Astronomy
Annealing Engineering & Materials Science
Substrates Engineering & Materials Science
Temperature Engineering & Materials Science
solid phases Physics & Astronomy
Melting Engineering & Materials Science

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研究成果 1991 2019

公開
solid phases
film thickness
transistors
insulators
nucleation

High mobility sputtered InSb film by blue laser diode annealing

Koswaththage, C. J., Higashizako, T., Okada, T., Sadoh, T., Furuta, M., Bae, B. S. & Noguchi, T., 4 1 2019, : : AIP Advances. 9, 4, 045009.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

公開
semiconductor lasers
annealing
glass
melting points
radiant flux density

Lowerature and low-cost excimer laser doping for poly-Si thin-film transistor fabrication

Imokawa, K., Tanaka, N., Suwa, A., Nakamura, D., Sadoh, T., Goto, T. & Ikenoue, H., 1 1 2019, Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XIII. Klotzbach, U., Watanabe, A. & Kling, R. (版). SPIE, 109060J. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; 巻数 10906).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

Thin-film Transistor
Excimer Laser
Excimer lasers
Thin film transistors
Polysilicon

Characterization of Excimer-Laser Doping of a Poly-Si Thin Film with a Phosphoric-Acid Coating for Thin-Film-Transistor Fabrication

Imokawa, K., Tanaka, N., Suwa, A., Nakamura, D., Sadoh, T., Goto, T. & Ikenoue, H., 8 15 2018, AM-FPD 2018 - 25th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices: TFT Technologies and FPD Materials, Proceedings. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 8437343. (AM-FPD 2018 - 25th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices: TFT Technologies and FPD Materials, Proceedings).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

phosphoric acid
Phosphoric acid
Excimer lasers
Thin film transistors
Polysilicon

Nucleation-controlled low-temperature solid-phase crystallization for Sn-doped polycrystalline-Ge film on insulator with high carrier mobility (∼550 cm2/V s)

Xu, C., Gao, H., Sugino, T., Miyao, M. & Sadoh, T., 6 11 2018, : : Applied Physics Letters. 112, 24, 242103.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

carrier mobility
solid phases
insulators
nucleation
crystallization