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Crystallization Engineering & Materials Science
crystallization Physics & Astronomy
insulators Physics & Astronomy
Annealing Engineering & Materials Science
Substrates Engineering & Materials Science
solid phases Physics & Astronomy
Temperature Engineering & Materials Science
Melting Engineering & Materials Science

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研究成果 1991 2020

Fabrication of CMOS Invertors in Si Thin-Film-Transistors by Laser Doping Using a Chemical Solution Coating

Imokawa, K., Kurashige, T., Suwa, A., Nakamura, D., Sadoh, T., Goto, T. & Ikenoue, H., 1 1 2020, : : IEEE Journal of the Electron Devices Society. 8, p. 27-32 6 p., 8918252.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

公開
Thin film transistors
Lasers
Doping (additives)
Fabrication
Coatings
1 引用 (Scopus)
公開
solid phases
film thickness
transistors
insulators
nucleation

High mobility sputtered InSb film by blue laser diode annealing

Koswaththage, C. J., Higashizako, T., Okada, T., Sadoh, T., Furuta, M., Bae, B. S. & Noguchi, T., 4 1 2019, : : AIP Advances. 9, 4, 045009.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

公開
semiconductor lasers
annealing
glass
melting points
radiant flux density

Improved Carrier Mobility of Thin Ge Films on Insulator by Solid-Phase Crystallization Combined with Interface-Modulation

Gong, X., Xu, C. & Sadoh, T., 7 2019, AM-FPD 2019 - 26th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices: TFT Technologies and FPD Materials, Proceedings. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 8830601. (AM-FPD 2019 - 26th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices: TFT Technologies and FPD Materials, Proceedings).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

Carrier mobility
Crystallization
carrier mobility
solid phases
Modulation
1 引用 (Scopus)

Lowerature and low-cost excimer laser doping for poly-Si thin-film transistor fabrication

Imokawa, K., Tanaka, N., Suwa, A., Nakamura, D., Sadoh, T., Goto, T. & Ikenoue, H., 1 1 2019, Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XIII. Klotzbach, U., Watanabe, A. & Kling, R. (版). SPIE, 109060J. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; 巻数 10906).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

Thin-film Transistor
Excimer Laser
Excimer lasers
Thin film transistors
Polysilicon