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研究成果 1997 2018

Investigation of Surface Excitation Effect for Ablation of 4H-SiC Substrate Using Double-Pulse Beam

Matsunaga, K., Hayashi, T., Kurokawa, S., Yokoo, H., Hasegawa, N., Nishikino, M., Kumada, T., Otobe, T., Matsukawa, Y. & Takaya, Y., 1 1 2018, X-Ray Lasers 2016 - Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers. Kawachi, T., Bulanov, S. V., Daido, H. & Kato, Y. (版). Springer Science and Business Media, LLC, p. 321-326 6 p. (Springer Proceedings in Physics; 巻数 202).

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

ablation
fluence
pulses
excitation
energy absorption
Abrasives
Viscosity
Nanoparticles
Shear viscosity
Compensation and Redress

Dynamics of photo-excitation for the ablation of 4H-SiC substrate using femtosecond laser

Matsunaga, K., Hayashi, T., Kurokawa, S., Yokoo, H., Hasegawa, N., Nishikino, M. & Matsukawa, Y., 11 13 2017.

研究成果: 会議への寄与タイプ論文

Photoexcitation
Ablation
Ultrashort pulses
Substrates
Ultrafast lasers

Effect of plasma formation on the double pulse laser excitation of cubic silicon carbide

Otobe, T., Hayashi, T. & Nishikino, M., 10 23 2017, : : Applied Physics Letters. 111, 17, 171107.

研究成果: ジャーナルへの寄稿記事

silicon carbides
pulses
excitation
lasers
energy absorption

Brownian diffusion analysis for nano-abrasives in CMP slurry by using fluorescence polarization method

Hayashi, T., Toshiki, S. & Kurokawa, S., 2 17 2016, 2015 International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT 2015. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 7411985

研究成果: 著書/レポートタイプへの貢献会議での発言

Cytidine Monophosphate
Abrasives
Fluorescence
Polarization
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