1005 多段階インプリントプロセスによるセラミックシート表面上への多階層微細パターニング(生産加工・工作機械1)

高橋昌史, 津守不二夫, 徐楊, 橋本聖矢, 姜賢求, 長田稔子, 三浦秀士

研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術誌

寄稿の翻訳タイトル	1005 Multi-level Micro Patterning on Ceramic Surface by a Multi-step Imprint Process
本文言語	日本語
ページ（範囲）	323-324
ページ数	2
ジャーナル	日本機械学会九州支部講演論文集
巻	2013
号	0
DOI	https://doi.org/10.1299/jsmekyushu.2013.66.323
出版ステータス	出版済み - 2013

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TY - JOUR

T1 - 1005 多段階インプリントプロセスによるセラミックシート表面上への多階層微細パターニング(生産加工・工作機械1)

AU - 高橋, 昌史

AU - 津守, 不二夫

AU - 徐, 楊

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AU - 三浦, 秀士

PY - 2013

Y1 - 2013

U2 - 10.1299/jsmekyushu.2013.66.323

DO - 10.1299/jsmekyushu.2013.66.323

M3 - 学術誌

VL - 2013

SP - 323

EP - 324

JO - 日本機械学会九州支部講演論文集

JF - 日本機械学会九州支部講演論文集

IS - 0

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