1005 多段階インプリントプロセスによるセラミックシート表面上への多階層微細パターニング(生産加工・工作機械1)

高橋 昌史, 津守 不二夫, 徐 楊, 橋本 聖矢, 姜 賢求, 長田 稔子, 三浦 秀士

研究成果: Contribution to journalArticle

寄稿の翻訳タイトル1005 Multi-level Micro Patterning on Ceramic Surface by a Multi-step Imprint Process
本文言語Japanese
ページ(範囲)323-324
ページ数2
ジャーナル日本機械学会九州支部講演論文集
2013
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DOI
出版ステータス出版済み - 2013

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