3-D conical microchannel fabricated by wet etching using Ti/Au sacrificial layer

Hirotaka Sugiura, Shinya Sakuma, Fumihito Arai

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

フィンガープリント 「3-D conical microchannel fabricated by wet etching using Ti/Au sacrificial layer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science