3D nanoarchitecture from ultrathin titania film via surface sol-gel process and photolithography

Shigenori Fujikawa, Toyoki Kunitake

研究成果: Contribution to journalArticle査読

1 被引用数 (Scopus)

抄録

We demonstrated the fabrication of 3D nano-architectures composed of ultrathin TiO2-gel (titania) layers. Titania films with a thickness of a few tens nanometers are prepared on lithographically-fabricated line and hole patterns by the surface sol-gel process. Oxygen plasma treatment is employed to remove the template moiety, and gives positive replicas of the template structures.

本文言語英語
ページ(範囲)1414-1415
ページ数2
ジャーナルChemistry Letters
34
10
DOI
出版ステータス出版済み - 10 5 2005
外部発表はい

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • Chemistry(all)

フィンガープリント 「3D nanoarchitecture from ultrathin titania film via surface sol-gel process and photolithography」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル