A micro laser Doppler velocimeter designed for a wafer-level packaging process

N. Morita, T. Akiyama, H. Nogami, Y. Hayashida, E. Higurashi, T. Ito, R. Sawada

    研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

    2 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント 「A micro laser Doppler velocimeter designed for a wafer-level packaging process」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Physics & Astronomy

    Engineering & Materials Science