A three-dimensional micro-electro-mechanical system (MEMS) optical switch module using low-cost highly accurate polymer components

Tsuyoshi Yamamoto, Johji Yamaguchi, Nobuyuki Takeuchi, Akira Shimizu, Renshi Sawada, Eiji Higurashi, Yuji Uenishi

    研究成果: Contribution to journalArticle査読

    9 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「A three-dimensional micro-electro-mechanical system (MEMS) optical switch module using low-cost highly accurate polymer components」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy