A34 MEMSに使用されるポリシリコンの強度信頼性(A3 材料力学3)

橋爪 健二, 濱田 繁

研究成果: Contribution to journalArticle

寄稿の翻訳タイトルA34 Strength reliability of poly-silicon for MEMS
本文言語Japanese
ページ(範囲)27-28
ページ数2
ジャーナル日本機械学会九州支部講演論文集
2007
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DOI
出版ステータス出版済み - 2007

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