Ab initio energetic calculations of elementary reactions relevant to low-temperature silane oxidation by gaussian-2 theory

Shigeo Kondo, Kazuaki Tokuhashi, Hidekazu Nagai, Akifumi Takahashi, Masahiro Kaise, Masaaki Sugie, Mutsumi Aoyagi, Koichi Mogi, Satoshi Minamino

研究成果: Contribution to journalArticle査読

14 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Ab initio energetic calculations of elementary reactions relevant to low-temperature silane oxidation by gaussian-2 theory」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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