Aluminum doping of 4H-SiC by irradiation of excimer laser in aluminum chloride solution

Daichi Marui, Akihiro Ikeda, Koji Nishi, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

16 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Aluminum doping of 4H-SiC by irradiation of excimer laser in aluminum chloride solution」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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