Analysis of local segregation of impurities at a silicon melt-crystal interface during crystal growth in transverse magnetic field-applied Czochralski method

Koichi Kakimoto, Lijun Liu

研究成果: Contribution to journalArticle査読

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Analysis of local segregation of impurities at a silicon melt-crystal interface during crystal growth in transverse magnetic field-applied Czochralski method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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