Anisotropic plasma chemical vapor deposition of copper films in trenches

Kosuke Takenaka, Masao Onishi, Manabu Takenshita, Toshio Kinoshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe

研究成果: ジャーナルへの寄稿会議記事査読

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フィンガープリント

「Anisotropic plasma chemical vapor deposition of copper films in trenches」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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