Argon dilution effects on diamond deposition in electron cyclotron resonance plasma: A double probe study

K. Teii, H. Yoshioka, S. Ono, S. Teii

研究成果: Contribution to journalArticle査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Argon dilution effects on diamond deposition in electron cyclotron resonance plasma: A double probe study」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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