Bonding of LINBO3 thin film on Si substrate using laser irradiation

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

抄録

Preparation of lithium niobate thin-film on silicon is demonstrated. The process employed is composed of mechanical thinning of the lithium niobate and bonding by using laser irradiation to the face-to-face interface of the two materials. The process is performed in the ambient air while keeping the wafers at room temperature.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトルMOC 2015 - Technical Digest of 20th Microoptics Conference
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ISBN(電子版)9784863485433
DOI
出版ステータス出版済み - 2月 23 2016
イベント20th Microoptics Conference, MOC 2015 - Fukuoka, 日本
継続期間: 10月 25 201510月 28 2015

その他

その他20th Microoptics Conference, MOC 2015
国/地域日本
CityFukuoka
Period10/25/1510/28/15

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 原子分子物理学および光学
  • 電子材料、光学材料、および磁性材料

フィンガープリント

「Bonding of LINBO3 thin film on Si substrate using laser irradiation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル