Bonding of LiNbO3and Si wafers at room temperature using Si nanolayers

Kaname Watanabe, Jun Utsumi, Ryo Takigawa

研究成果: Contribution to journalArticle査読

フィンガープリント

「Bonding of LiNbO<sub>3</sub>and Si wafers at room temperature using Si nanolayers」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy

Engineering & Materials Science