Brownian diffusion analysis for nano-abrasives in CMP slurry by using fluorescence polarization method

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

抄録

The translational diffusion coefficient analysis with help of the rotational diffusion coefficient analysis is applied to determine the particle size distribution (PSD) of abrasive particles in slurry. The fluorescence anisotropy analysis (FPA) can determine the integration of the temperature over the viscosity for nano-area. In this paper, we perform the fundamental experiment to evaluate the viscosity of the solvent by using FPA and verify the feasibility to determine PSD from both the translational diffusion coefficient and the rotational diffusion coefficient.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル2015 International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT 2015
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ISBN(電子版)9781619565104
出版ステータス出版済み - 2 17 2016
イベントInternational Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT 2015 - Chandler, 米国
継続期間: 9 30 201510 2 2015

出版物シリーズ

名前2015 International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT 2015

その他

その他International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT 2015
国/地域米国
CityChandler
Period9/30/1510/2/15

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • プロセス化学およびプロセス工学
  • 電子材料、光学材料、および磁性材料

フィンガープリント

「Brownian diffusion analysis for nano-abrasives in CMP slurry by using fluorescence polarization method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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