Brownian diffusion analysis for nano-abrasives in CMP slurry by using fluorescence polarization method

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

フィンガープリント

「Brownian diffusion analysis for nano-abrasives in CMP slurry by using fluorescence polarization method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds