Carbonization of SIMOX substrates for fabrication of single-crystal SiC-on-insulator

S. Harada, Makoto Arita, Yoshifumi Ikoma, T. Motooka

    研究成果: Contribution to journalArticle査読

    フィンガープリント

    「Carbonization of SIMOX substrates for fabrication of single-crystal SiC-on-insulator」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy

    Chemical Compounds