Catalyst combustors with B-doped SiGe/Au thermopile for micro-power-generation

Maiko Nishibori, Woosuck Shin, Kazuki Tajima, Lionel F. Houlet, Noriya Izu, Ichiro Matsubara, Norimitsu Murayama

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

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抄録

A micromachined thermoelectric (TE) power generator with a ceramic catalyst combustor operating at room temperature (RT) has been developed. A thermopile of 20 thin-film couples of B-doped Si0.8Ge0.2/Au and a Pt-loaded alumina ceramic thickfilm catalyst combustor were integrated on a thin dielectric membrane, which was fabricated by bulk-Si wet etching. We have demonstrated a successful power generation of 0.26 μW using the micro-TE-generator with a fuel gas flow of 3 vol. % H2 in air, 1000 ccm, at RT.

本文言語英語
ページ(範囲)L1130-L1132
ジャーナルJapanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters
45
42-45
DOI
出版ステータス出版済み - 11月 10 2006
外部発表はい

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 工学(全般)
  • 物理学および天文学(その他)
  • 物理学および天文学(全般)

フィンガープリント

「Catalyst combustors with B-doped SiGe/Au thermopile for micro-power-generation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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