Characteristics of a monolithically integrated micro-displacement sensor

Toshihiro Takeshita, Yao Peng, Nobutomo Morita, Hideyuki Ando, Eiji Higurashi, Renshi Sawada

    研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

    9 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Characteristics of a monolithically integrated micro-displacement sensor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science