Characterization of Glow Discharge α-Si: H Films by Time-of-Flight Measurement—Comoarative Studv of Monosilane and Disilane Films

Junji Shirafuji, Reiji Hattori, Kazuhiro Shirakawa

研究成果: Contribution to journalArticle査読

本文言語英語
ページ(範囲)110-116
ページ数7
ジャーナルIEEJ Transactions on Industry Applications
108
2
DOI
出版ステータス出版済み - 1988
外部発表はい

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 産業および生産工学
  • 電子工学および電気工学

引用スタイル