Characterization of Glow Discharge α-Si: H Films by Time-of-Flight Measurement—Comoarative Studv of Monosilane and Disilane Films

Junji Shirafuji, Reiji Hattori, Kazuhiro Shirakawa

研究成果: Contribution to journalArticle査読

フィンガープリント

「Characterization of Glow Discharge α-Si: H Films by Time-of-Flight Measurement—Comoarative Studv of Monosilane and Disilane Films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。