Chemical stability improvement in IGZO using selective laser annealing system
Tetsuya Goto, Kaori Saito, Fuminobu Imaizumi, Michinobu Mizumura, Akira Suwa, Hiroshi Ikenoue, Shigetoshi Sugawa
研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 会議記事 › 査読
1
被引用数
(Scopus)