CMP characteristic on crystal orientations of single-crystal Si and high-precision planarization CMP of Poly-Si

Shinichi Yoshiura, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Osamu Ohnishi, Naofumi Shinya

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

フィンガープリント

「CMP characteristic on crystal orientations of single-crystal Si and high-precision planarization CMP of Poly-Si」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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