Control of large area VHF plasma produced at high pressure

Tatsuyuki Nishimiya, Tsukasa Yamane, Yoshiaki Takeuchi, Yasuhiro Yamauchi, Hiromu Takatsuka, Hiroshi Muta, Kiichiro Uchino, Yoshinobu Kawai

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

8 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Control of large area VHF plasma produced at high pressure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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