Controllable CMP of oxide film by using colloidal ceria slurry

Syuhei Kurokawa, Takaaki Toyama, Terutake Hayashi, Eisaku Suda, Jun Tokuda

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Controllable CMP of oxide film by using colloidal ceria slurry」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science