Coordinate measurement of micro groove on MEMS device by optically controlled microprobe

Mitsutoshi Kobayashi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

フィンガープリント

「Coordinate measurement of micro groove on MEMS device by optically controlled microprobe」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science