Crystallization mechanism of thick a-Si 0.5Ge 0.5 film by excimer laser annealing

Shota Kino, Yuki Nonomura, Akira Heya, Naoto Matsuo, Kazuhiro Kanda, Shuji Miyamoto, Sho Amano, Takayasu Mochizuki, Kaoru Toko, Taizoh Sadoh, Masanobu Miyao

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

フィンガープリント

「Crystallization mechanism of thick a-Si <sub>0.5</sub>Ge <sub>0.5</sub> film by excimer laser annealing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science