Defect characterization of 4H-SiC bulk crystals grown on micropipe filled seed crystals

Tomohisa Kato, Kazutoshi Kojima, Shinichi Nishizawa, Kazuo Arai

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

フィンガープリント

「Defect characterization of 4H-SiC bulk crystals grown on micropipe filled seed crystals」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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