Defect control by Al deposition and the subsequent post-annealing for SiGe-on-insulator substrates with different Ge fractions

Haigui Yang, Dong Wang, Hiroshi Nakashima, Kana Hirayama, Satoshi Kojima, Shogo Ikeura

研究成果: Contribution to journalArticle査読

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Defect control by Al deposition and the subsequent post-annealing for SiGe-on-insulator substrates with different Ge fractions」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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