Dependence on repetition rate in post-laser annealing process of ion-implanted ZnO nanorods using KrF excimer laser

T. Shimogaki, T. Ofuji, M. Higashihata, Hiroshi Ikenoue, Daisuke Nakamura, Tanemasa Asano, T. Okada

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

抄録

P-implanted ZnO nanorods were annealed by a KrF excimer laser at different repetition rate. The entire implanted region of ZnO nanorods was annealed beyond the optical-absorption length at high repetition rate.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル2013 Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013
DOI
出版ステータス出版済み - 10月 18 2013
イベント10th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013 - Kyoto, 日本
継続期間: 6月 30 20137月 4 2013

出版物シリーズ

名前Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest

その他

その他10th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013
国/地域日本
CityKyoto
Period6/30/137/4/13

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 原子分子物理学および光学
  • 凝縮系物理学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Dependence on repetition rate in post-laser annealing process of ion-implanted ZnO nanorods using KrF excimer laser」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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