Dependence on repetition rate in post-laser annealing process of ion-implanted ZnO nanorods using KrF excimer laser

T. Shimogaki, T. Ofuji, M. Higashihata, Hiroshi Ikenoue, Daisuke Nakamura, Tanemasa Asano, T. Okada

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

フィンガープリント 「Dependence on repetition rate in post-laser annealing process of ion-implanted ZnO nanorods using KrF excimer laser」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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