Deposits removal and hydrogen release on co-deposited films exposed to O-ICR and O-GDC plasmas in HT-7

J. S. Hu, J. G. Li, N. Ashikawa, K. Tokunaga, N. Noda, N. Yoshida

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Deposits removal and hydrogen release on co-deposited films exposed to O-ICR and O-GDC plasmas in HT-7」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemistry

Material Science