Design and fabrication of parylene-hinged slow-scan optical scanner for OCT endoscope application

M. Nakada, K. Takahashi, A. Higo, H. Fujita, H. Toshiyoshi

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

抄録

We report a new design and fabrication of parylene-hinged electrostatic optical scanner made by the SOI-MEMS process technology. Parylene is a CVD-processed organic material of small elastic constant and high chemical stability, and it was found to be suitable to make a low-voltage MEMS scanner of low resonance frequency.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OPT MEMS
ページ48-49
ページ数2
DOI
出版ステータス出版済み - 2008
外部発表はい
イベント2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OPT MEMS - Freiburg, ドイツ
継続期間: 8 11 20088 14 2008

出版物シリーズ

名前2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OPT MEMS

その他

その他2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OPT MEMS
国/地域ドイツ
CityFreiburg
Period8/11/088/14/08

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Design and fabrication of parylene-hinged slow-scan optical scanner for OCT endoscope application」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル