Development of a system for 3-D micro metrology using an ultra-small-diameter optical fiber probe-optical analysis and evaluative experiment using the 0.4 μm diameter stylus shaft

Hiroshi Murakami, Akio Katsuki, Takao Sajima, Narumi Tokuoh, Mitsuyoshi Fukuda

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Development of a system for 3-D micro metrology using an ultra-small-diameter optical fiber probe-optical analysis and evaluative experiment using the 0.4 μm diameter stylus shaft」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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