Discharge power dependence of Hα intensity and electron density of Ar + H2 discharges in H-assisted plasma CVD reactor

Jun Umetsu, Kazunori Koga, Kazuhiko Inoue, Hidefumi Matsuzaki, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani

研究成果: Contribution to journalArticle査読

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Discharge power dependence of H<sub>α</sub> intensity and electron density of Ar + H<sub>2</sub> discharges in H-assisted plasma CVD reactor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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